[实用新型]一种平面衍射光栅衍射波前检测系统有效
| 申请号： | 201220303293.7 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN202735068U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 钱林勇;黄元申;徐邦联;王琦;张大伟;陶春先;倪争技;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海东创专利代理事务所(普通合伙) 31245 | 代理人： | 宁芝华 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种平面衍射光栅衍射波前检测系统，包括：平面衍射光栅衍射波前检测装置、平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路、平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路；平面衍射光栅衍射波前检测装置中标准平面透镜安装在ZYGO干涉仪上，ZYGO干涉仪内置激光仪，通过数据线与计算机连接，平面光栅置于旋转平台上，旋转平台上的平面光栅与平面反射镜置于光路中；平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：旋转平台上平面光栅的激光入射角等于衍射角；平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：平面反射镜与平面光栅衍射光垂直，衍射光作为测量波面经平面反射镜反射，沿原路返回ZYGO干涉仪。本实用新型设备少，检测快，结果精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 衍射 光栅 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种平面衍射光栅衍射波前检测系统，包括：平面衍射光栅衍射波前检测装置、平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路、平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路；其特征在于：A)所述的平面衍射光栅衍射波前检测装置包括：ZYGO干涉仪、计算机、标准平面透镜、旋转平台、平面反射镜，平面光栅；其中标准平面透镜安装在ZYGO干涉仪上，ZYGO干涉仪内置激光仪，通过数据线与计算机连接，平面光栅置于旋转平台上，旋转平台上的平面光栅与平面反射镜置于光路中；B)平面光栅正级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路：激光从ZYGO干涉仪中的激光器射出，经标准平面透镜后，与旋转平台上平面光栅的法线构成入射角，所述旋转平台上平面光栅的入射角等于衍射角；C)平面光栅负级次衍射波前检测的入射光与衍射光光路,激光从ZYGO干涉仪中的激光器射出，经标准平面透镜、平面光栅到达平面反射镜，平面反射镜与平面光栅衍射光垂直，衍射光作为测量波面经平面反射镜反射，沿原路返回ZYGO干涉仪。
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