[实用新型]用于PTFE的等离子处理机有效
申请号: | 201220291124.6 | 申请日: | 2012-06-20 |
公开(公告)号: | CN202738270U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 董晓俊 | 申请(专利权)人: | 艾威尔电路(深圳)有限公司 |
主分类号: | H05K3/26 | 分类号: | H05K3/26;B08B7/00 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 高萍 |
地址: | 518105 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于PTFE的等离子处理机,通过采用等离子处理机对PCB生产的高频的孔无铜问题进行处理,改善了高频板制作的进度及效率,所公开的等离子处理机,包括机体外壳,外壳内安装有真空腔体、高频等离子体发生器、真空泵、充气泵、控制电路,其中真空腔体通过气体管道和真空泵、充气泵连接,高频等离子体发生器与真空腔体连接,控制电路与高频等离子体发生器连接,真空腔体上设有等离子体喷射管道。 | ||
搜索关键词: | 用于 ptfe 等离子 处理机 | ||
【主权项】:
用于PTFE的等离子处理机,包括机体外壳,其特征在于外壳内安装有真空腔体、高频等离子体发生器、真空泵、充气泵、控制电路,其中真空腔体通过气体管道和真空泵、充气泵连接,高频等离子体发生器与真空腔体连接,控制电路与高频等离子体发生器连接,真空腔体上设有等离子体喷射管道。
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