[实用新型]用于PTFE的等离子处理机有效

专利信息
申请号: 201220291124.6 申请日: 2012-06-20
公开(公告)号: CN202738270U 公开(公告)日: 2013-02-13
发明(设计)人: 董晓俊 申请(专利权)人: 艾威尔电路(深圳)有限公司
主分类号: H05K3/26 分类号: H05K3/26;B08B7/00
代理公司: 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 代理人: 高萍
地址: 518105 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种用于PTFE的等离子处理机,通过采用等离子处理机对PCB生产的高频的孔无铜问题进行处理,改善了高频板制作的进度及效率,所公开的等离子处理机,包括机体外壳,外壳内安装有真空腔体、高频等离子体发生器、真空泵、充气泵、控制电路,其中真空腔体通过气体管道和真空泵、充气泵连接,高频等离子体发生器与真空腔体连接,控制电路与高频等离子体发生器连接,真空腔体上设有等离子体喷射管道。
搜索关键词: 用于 ptfe 等离子 处理机
【主权项】:
用于PTFE的等离子处理机,包括机体外壳,其特征在于外壳内安装有真空腔体、高频等离子体发生器、真空泵、充气泵、控制电路,其中真空腔体通过气体管道和真空泵、充气泵连接,高频等离子体发生器与真空腔体连接,控制电路与高频等离子体发生器连接,真空腔体上设有等离子体喷射管道。
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