[实用新型]抛光机有效

专利信息
申请号: 201220248840.6 申请日: 2012-05-30
公开(公告)号: CN202668308U 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 冷志红;蔡灵玲 申请(专利权)人: 昆山明本光电有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B57/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215325 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种抛光机,包括电机、支架、弯管、抛光上模、抛光下模和工作台,所述电机设置在支架的顶部,所述电机的伸出杆连接抛光上模,在抛光上模的上方设有抛光液进液机构,该抛光液进液机构主要包括沿伸出杆为轴心阵列分布的弯管,所述抛光下模设置在工作台上,该抛光下模的中心套接有传动轴,该传动轴底部连接到工作台内的电机,其特征在于:所述抛光上模的表面覆有一层抛光面板,在抛光面板上开设有凹槽,在所述抛光面板上还开设有通孔。本抛光机用于光学低通滤波器晶片的抛光处理,开设的凹槽防止完成抛光后的晶片吸附在抛光上模表面,且有利于抛光液的流动,很大程度上提高了晶片的抛光效果。
搜索关键词: 抛光机
【主权项】:
一种抛光机,包括电机(1)、支架(2)、弯管(3)、抛光上模(4)、抛光下模(5)和工作台(7),所述电机(1)设置在支架(2)的顶部,所述电机的伸出杆连接抛光上模(4),在抛光上模(4)的上方设有抛光液进液机构,该抛光液进液机构主要包括沿伸出杆为轴心阵列分布的弯管(3),所述抛光下模(5)设置在工作台(6)上,该抛光下模的中心套接有传动轴(7),该传动轴(7)底部连接到工作台内的电机,其特征在于:所述抛光上模(4)的表面覆有一层抛光面板(41),在抛光面板(41)上开设有凹槽(42),在所述抛光面板(41)上还开设有通孔(43)。
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