[实用新型]一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，包括石英坩埚，所述石英坩埚的外壁上设置有石墨护板，石英坩埚上设置有盖板，所述盖板上设置有盖板钼片；所述石墨护板上设置有护板钼片。该铸锭炉不但能够有效地抑制高温条件下石墨护板凹角处石英坩埚与石墨护板之间的反应，还能够明显改善硅熔体表面上方气体的流动，能够将铸造过程中产生的一氧化碳、二氧化碳以及一氧化硅等气体迅速地带走，从而大大降低了上述气体进入过熔体的几率，能够明显改善多晶硅铸锭中碳和氧的含量。

主权项

一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，包括石英坩埚（12），所述石英坩埚（12）的外壁上设置有石墨护板（11），石英坩埚（12）上设置有盖板（7），其特征在于：所述盖板（7）上设置有盖板钼片（8）；所述石墨护板（11）上设置有护板钼片（10）。