[实用新型]设置有新型盖板的制备低碳低氧高质量多晶硅的铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种设置有新型盖板的制备低碳低氧高质量多晶硅的铸锭炉，包括石英坩埚，所述石英坩埚上设置有盖板，所述盖板上设置有若干小孔，所述盖板的截面尺寸小于石英坩埚的端口内径尺寸，且盖板能在石英坩埚内上下移动。能够明显改善硅熔体表面上方气体的流动，能够将铸造过程中产生的CO、CO2及SiO等气体迅速地带走，从而大大降低了上述气体进入过熔体的几率，能够明显境地多晶硅锭中碳氧含量；盖板结构简单，同时可以升降，深入到石英坩埚内部，在熔体熔化、长晶以及退火阶段起到节能降耗的目的，从而降低生产成本；盖板的设计简单、成本低廉，与现有的铸锭炉的兼容性好，适合产工业化生产的大范围推广，具有非常好的产业前景。

主权项

设置有新型盖板的制备低碳低氧高质量多晶硅的铸锭炉，包括石英坩埚（12），所述石英坩埚（12）上设置有盖板（7），其特征在于：所述盖板（7）上设置有若干小孔（10），所述盖板（7）的截面尺寸小于石英坩埚（12）的端口内径尺寸，且盖板（7）能在石英坩埚（12）内上下移动。