[实用新型]一种基于折射式扫描系统的激光异形微孔的加工系统

摘要

本实用新型公开了一种基于折射式扫描系统的激光异形微孔的加工系统，包括高光束质量激光输出系统、聚焦镜组、光束扫描系统、调焦机构、加工件吸附定位位移系统和计算机控制系统，其特点是所述光束扫描系统为折射式扫描系统，它包括两片有相同厚度的平行平板，它们相互平行并垂直于激光光路，并被分别安装在两个振镜电机上。振镜电机带动平行平板相对激光光束偏转扫描，使得激光光束通过这两片平行平板后相对原传输光路有一个微小位移。位移值由平行平板与传输光路之间的夹角决定，通过折射式扫描系统快速改变夹角，可以实现激光束在工件上的任意形状微孔成型加工。

主权项

一种基于折射式扫描系统的激光异形微孔的加工系统，包括高光束质量激光输出系统、聚焦镜组、光束扫描系统、调焦机构、加工件吸附定位位移系统和计算机控制系统，其特征在于，所述光束扫描系统为一折射式扫描系统，它包括两个平行平板、两个振镜电机以及相应的控制模块，两个平行平板具有相同厚度，其入光面和出光面均镀有对应激光波长的增透膜，两个振镜电机带动平行平板相对入射光束快速偏转扫描，两个平行平板偏转扫描方向互相垂直，它们的组合运动使得激光束在工件表面走出任意形状的加工轨迹，通过振镜电机的控制模块，根据异形微孔激光加工轨迹控制两个平行平板相对入射光束的光轴快速偏转扫描。