[实用新型]基板传送系统有效
| 申请号： | 201220149555.9 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202513194U | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 李一成;李冠龙 | 申请（专利权）人： | 理想能源设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677;C23C16/54 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 孟建勇 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板传送系统，其应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其中，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。本实用新型提供的基板传送系统，减少了密封传动机构的使用，降低了设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 系统 | ||
【主权项】：
一种基板传送系统，应用于一处理设备中，包括传动部件、动力机构、伸缩驱动机构、旋转驱动机构和密封装置，所述动力机构可以为所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构提供伸缩与旋转用的动力，所述伸缩驱动机构与所述旋转驱动机构分别与所述传动部件连接，用于驱动所述传动部件伸缩运动或者旋转运动，所述处理设备具有处理腔室，其特征在于，所述传动部件、所述伸缩驱动机构和所述旋转驱动机构均设置在所述处理腔室内，所述密封装置用于密封连接所述动力机构与所述伸缩驱动机构或所述旋转驱动机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
