[实用新型]阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置

摘要

本实用新型涉及应用电子技术领域，尤其涉及阵列测试设备的校验系统、位移检测装置以及移动装置，用于解决如何自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间位移的问题；校验系统包括阵列测试设备，阵列测试设备包括电耦合摄像机，光学系统以及检测底座；校验系统还包括：安装在光学系统上或检测底座上的位移检测装置；安装在检测底座上的移动装置；位移检测装置，用于检测光学系统与检测底座之间的位移；移动装置，用于在位移检测装置检测到光学系统与检测底座之间产生位移时，根据位移带动所述检测底座进行移动。采用该校验系统，能够实现自动调整阵列测试设备中光学系统与检测底座之间的位移。

主权项

一种阵列测试设备的校验系统，所述校验系统包括阵列测试设备，所述阵列测试设备包括电耦合摄像机，光学系统以及检测底座；其特征在于，所述校验系统还包括：安装在所述光学系统上或所述检测底座上的位移检测装置；安装在所述检测底座上的移动装置；所述位移检测装置，用于检测所述光学系统与所述检测底座之间的位移；所述移动装置，用于在所述位移检测装置检测到所述光学系统与所述检测底座之间产生位移时，根据所述位移带动所述检测底座进行移动。