[实用新型]光学检测系统

摘要

一种光学检测系统，包含一输送装置、一正向检测模块、一斜向检测模块及一控制界面。输送装置沿一输送方向输送一玻璃基板；正向检测模块包含一正向光源与一正面取像元件，正向光源对基板背面投射一正向光束，正面取像元件用以接收正向光束，并据以产生一正面影像信号；斜向检测模块包含一斜向光源与一斜面取像元件，斜向光源对基板正面投射一斜向光束，而斜面取像元件用以接收斜向光束，并据以产生一斜面影像信号；控制界面电性连结于正向检测模块与斜向检测模块，以依据正面影像信号与斜面影像信号产生一正面缺陷影像与一斜面缺陷影像。

主权项

一种光学检测系统，用以对一玻璃基板进行缺陷检测该玻璃基板具有一基板正面与一基板背面，其特征在于，该光学检测系统包含：一输送装置，沿一输送方向输送该玻璃基板；一正向检测模块，设置于该输送装置，并且包含：一正向光源，对该基板背面投射一正向光束；以及一正面取像元件，用以接收穿透该玻璃基板的该正向光束，并据以产生一正面影像信号；一斜向检测模块，设置于该输送装置，并且包含：一斜向光源，对该基板正面投射一斜向光束；以及一斜面取像元件，用以接收经该基板正面反射的该斜向光束，并据以产生一斜面影像信号；以及一控制界面，电性连结于该正向检测模块与该斜向检测模块，用以接收该正面影像信号与该斜面影像信号，并分别产生一正面缺陷影像与一斜面缺陷影像。