[发明专利]一种电容式湿度传感器有效
| 申请号： | 201210589894.3 | 申请日： | 2012-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103076372A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 黄见秋;陈文浩;任青颖;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;B81B7/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 王玉梅;王鹏翔 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式湿度传感器，从下到上依次包括下部硅片、下加热器、下金属层、下钝化层、下感湿材料层、上感湿材料层、上钝化层、上金属层和上部硅片；下部硅片上设有下硅片绝缘层，下加热器设在下硅片绝缘层上，且在下加热器之间及其上方设有下加热器绝缘层；下加热器绝缘层、下金属层、下钝化层和下感湿材料层从下至上依次相连；上部硅片上设有上硅片绝缘层，且上硅片绝缘层、上金属层、上钝化层和上感湿材料层从上至下依次相连；下感湿材料层和上感湿材料层之间设有空气隙；下金属层和上金属层之间由铟凸点键合。本发明提供了一种电容式湿度传感器，其加热均匀，能克服纵向温度梯度带来的温度不均匀性，温度分布易控制，响应速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式湿度传感器，其特征在于，从下到上依次包括下部硅片（1）、下加热器（3）、下金属层（5）、下钝化层（6）、下感湿材料层（7）、上感湿材料层（8）、上钝化层（9）、上金属层（10）和上部硅片（14）；所述下部硅片（1）上设有下硅片绝缘层（2），所述下加热器（3）设在下硅片绝缘层（2）上，且在下加热器（3）之间及其上方设有下加热器绝缘层（4）；所述下加热器绝缘层（4）、下金属层（5）、下钝化层（6）和下感湿材料层（7）从下至上依次相连；所述上部硅片（14）上设有上硅片绝缘层（13），且上硅片绝缘层（13）、上金属层（10）、上钝化层（9）和上感湿材料层（8）从上至下依次相连；所述下感湿材料层（7）和上感湿材料层（8）之间设有空气隙（16）；所述下金属层（5）和上金属层（10）之间由铟凸点（15）键合；所述上部硅片（14）上设置有第一通孔（17）和第二通孔（18）。
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