[发明专利]一种深紫外铝光栅偏振器有效
| 申请号： | 201210578546.6 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103018815A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 董建杰;康果果 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 高燕燕;郭德忠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种深紫外铝光栅偏振器，包括铝光栅和基底介质，铝光栅的周期为50nm-100nm，厚度为50nm-200nm，占空比（光栅栅线宽度/光栅周期）为0.3-0.7；基底介质的材料是SiO2；基底介质紧密的包裹铝光栅。本发明的光栅偏振器可以覆盖波长为150nm-160nm的超深紫外光，体积小、结构紧凑；本发明的光栅偏振器解决了现有偏振器不能工作在157nm波长而无法满足157nm光刻技术需求的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 光栅 偏振 | ||
【主权项】：
一种深紫外铝光栅偏振器，其特征在于，包括铝光栅和基底介质，基底介质的材料是SiO2，基底介质紧密的包裹铝光栅。
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