[发明专利]一种渐变折射率减反膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种渐变折射率减反膜太阳能电池制备方法，包括以下步骤：在硅片正面形成绒面；在硅片正面进行P扩散，然后去除所述硅片正面的磷硅玻璃和周边P扩散层；在所述硅片正面形成渐变折射率减反膜；在所述硅片背面形成背电极和铝背场；在所述硅片正面形成正电极。相应地，本发明还提供一种渐变折射率减反膜太阳能电池。本发明的方法以及该方法制备的太阳能电池电学性能好，衰减小。

主权项

一种渐变折射率减反膜太阳能电池制备方法，其中，包括以下步骤：a）在硅片正面形成绒面；b）在所述硅片正面进行P扩散，然后去除所述硅片正面的磷硅玻璃和周边P扩散层；c）在所述硅片正面形成渐变折射率减反膜；d）在所述硅片背面形成背电极和铝背场；e）在所述硅片正面形成正电极；其特征在于：所述步骤c）中进一步包括：c1）在所述硅片正面形成减反膜；c2）以氨气、氮气中的一种或其混合气体为注入源对所述减反膜进行N注入，通过设备调节实现N在所述减反膜中的特定注入深度和浓度；c3）进行退火，将所述减反膜中的N进一步推进到指定深度，其中，经过N注入的所述减反膜形成渐变折射率层，未经过N注入的所述减反膜称为钝化层，所述渐变折射率层和所述钝化层组成渐变折射率减反膜。