[发明专利]手动白光干涉阶高量测方法无效
| 申请号： | 201210553312.6 | 申请日： | 2012-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN103884283A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陈灿林;高清芬 | 申请（专利权）人： | 台濠科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 | 代理人： | 金利琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种手动白光干涉阶高量测方法，先拍摄待测物的影像，并于影像上选取至少两个欲量测高度的像素，再以手动方式控制一手动位移器令分光干涉仪以垂直方向移动以扫描待测物，拍摄选定的各像素经过分光干涉仪的宽频光的干涉条纹，且等间距地记录所选定各像素的强度值与扫描位置，并记录于一干涉强度资料库中，针对宽频光的波长，同时对干涉强度资料库中的资料进行一垂直扫描干涉分析，得到包络波曲线的极值位置，作为待测物表面选定像素的相对高度，并通过各像素的相对高度计算即得表面阶高。 | ||
| 搜索关键词： | 手动 白光 干涉 阶高量测 方法 | ||
【主权项】：
一种手动白光干涉阶高量测方法，其通过一分光干涉仪手动量测一待测物的表面阶高，其特征在于，该量测方法的步骤包括有：拍摄待测物的影像；于该影像上选取至少两个欲量测高度的像素；以手动方式控制一手动位移器令分光干涉仪以垂直方向移动以扫描所述待测物；拍摄选定的所述像素经过所述分光干涉仪的宽频光的干涉条纹，其中该宽频光包括至少一特定波长的光波，并由一宽频光源提供；在手动移动垂直方向的距离中以等间距地记录选定所述像素的强度值与扫描位置，并记录于一干涉强度资料库中；针对该至少一所述特定波长，同时对该干涉强度资料库中的资料进行一垂直扫描干涉分析，得到包络波曲线的极值位置，作为所述待测物表面选定像素的相对高度；以及通过各所述像素的相对高度计算即得表面阶高。
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