[发明专利]微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构及测量方法无效

专利信息
申请号: 201210515903.4 申请日: 2012-12-05
公开(公告)号: CN102980818A 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 唐洁影;陈洁 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: G01N3/38 分类号: G01N3/38
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 211189 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构,包括衬底、固支梁、第一锚区、第二锚区、第一驱动电极、第二驱动电极和窄条电极组,窄条电极组由至少三条两端连接压焊块的窄条电极组成;各窄条电极的中部断开,形成窄条电极对;固支梁的两端固定连接在第一锚区和第二锚区上;第一驱动电极、第二驱动电极和窄条电极组位于固支梁的下方,且各窄条电极的中部均位于固支梁的正下方;第一驱动电极和第二驱动电极分布在窄条电极组的两侧,且相互对称。利用该电阻测量结构能够获取固支梁的性能因疲劳而衰变的信息。本发明还公开了一种该电阻测量结构的测量方法,该方法方便易行,结果可靠。
搜索关键词: 微机 系统 中固支梁 疲劳 特性 电阻 测量 结构 测量方法
【主权项】:
一种微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构,其特征在于:所述的测量结构包括衬底(1)、固支梁(2)、第一锚区(31)、第二锚区(32)、第一驱动电极(41)、第二驱动电极(42)和窄条电极组,窄条电极组由至少三条两端连接压焊块的窄条电极组成;各窄条电极的中部断开,形成窄条电极对;第一锚区(31)、第二锚区(32)、第一驱动电极(41)、第二驱动电极(42)和窄条电极组固定连接在衬底(1)的顶面,固支梁(2)的两端固定连接在第一锚区(31)和第二锚区(32)上,且固支梁(2)处于悬空状态;第一驱动电极(41)、第二驱动电极(42)和窄条电极组位于固支梁(2)的下方,且各窄条电极的中部均位于固支梁(2)的正下方;第一驱动电极(41)和第二驱动电极(42)分布在窄条电极组的两侧,且相互对称。
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