[发明专利]多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法

摘要

本发明涉及一种多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法，通过在微孔或毛细管两端并联一带清除阀的清除管路，利用质谱分析仪自身真空系统的抽气功能，在每一次测试前均开启清除阀对多路取样系统进行一次抽空，解决了信号拖尾、读数困难和气体串流等问题。

主权项

多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法，包括以下流程：1）构建多路气体质谱分析的气体取样测试系统，该系统包括质谱分析仪，质谱分析仪的测试口连接有并联的清除阀与微孔或毛细管，清除阀与微孔或毛细管的另一端分别连接有并联的多个气路取样阀，储气容器中的被测气体通过气体过滤器后进入循环泵，再循环回到储气容器构成采样系统管路，多个气路取样阀的另一端分别对应连接到多种被测气体的多个采样系统管路的气体过滤器与循环泵之间；2）启动质谱分析仪，待质谱分析仪读数稳定后，读取质谱分析仪的质谱读数初始值；3）开启多种被测气体的多路采样系统管路上的循环泵进行采样；4）打开清除阀，保持各个气路取样阀在关闭状态，对微孔或毛细管到各个气路取样阀之间的空间进行抽除，去除原来积留气体，待质谱分析仪质谱数据显示值回到初始值附近并稳定后，关闭清除阀完成本底清除；5）打开某个待测气体的气路取样阀，待测试值稳定后，读取该路气体的质谱数据，测试完成后关闭该路气路取样阀；6）打开清除阀，对微孔或毛细管到各路取样阀之间的空间进行抽除，去除原来积留的上一次测试气体，待质谱分析仪显示值回到初始值附近并稳定后，关闭清除阀，打开另一路待测气体的气路取样阀，待测试值稳定后，读取该路气体的质谱数据，测试完成后关闭该路气路取样阀，然后重复该步骤，逐步完成各路待测气体的测试工作。