[发明专利]用于光伏钝化的含氧前体

摘要

本发明公开了在光伏电池上沉积钝化层的方法。该方法包括沉积包括至少双层的钝化层，该双层进一步包括氧化硅层和氮化硅层。用于沉积氧化硅层或氮化硅层的硅前体分别选自Si(OR1)xR2y族或SiRxHy族、硅烷及其组合，其中x+y＝4，y≠4，R1为C1-C8烷基，R2选自氢、C1-C8烷基和NR*3，R为C1-C8烷基或NR*3；其中R*可以是氢或C1-C8烷基，C1-C8烷基可以是直链、支链或环状的，配体是饱和的、不饱和的或芳香族的(对于环状烷基)。还公开了包含所述钝化层的光伏器件。

主权项

一种在腔室中在光伏电池上沉积至少一个钝化层的方法，包括步骤：提供具有前表面和后表面的光伏电池；提供第一硅前体；在所述光伏电池的至少一个表面上沉积具有5‑70nm范围厚度的氧化硅层；提供第二硅前体；提供氮源；以及在所述氧化硅层上沉积具有20‑200nm范围厚度的氮化硅层；其中具有25‑600nm范围厚度的该至少一个钝化层包括至少一个包含所述氧化硅层和所述氮化硅层两者的双层。