[发明专利]硅晶铸锭及从其制成的硅晶圆在审
| 申请号： | 201210441850.6 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103088420A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 蓝崇文;余文怀;杨瑜民;周鸿升;许松林;徐文庆 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 215316 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅晶铸锭及从其制成的硅晶圆。本发明所述的硅晶铸锭包含底部以及垂直方向。特别地，本发明所述的硅晶铸锭包含沿垂直方向成长的多个硅晶粒以及设置在底部的成核促进层，且紧邻所述成核促进层的硅晶粒的平均晶粒尺寸为小于10mm。 | ||
| 搜索关键词： | 铸锭 制成 硅晶圆 | ||
【主权项】：
一种硅晶铸锭，具有一底部以及一垂直方向，其特征在于，所述硅晶铸锭包含沿所述垂直方向成长的多个硅晶粒以及一设置在所述底部的一成核促进层，且紧邻所述成核促进层的硅晶粒的平均晶粒尺寸为小于10mm。
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