[发明专利]原位压/划痕测试装置无效
申请号: | 201210418066.3 | 申请日: | 2012-10-26 |
公开(公告)号: | CN102928307A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 赵宏伟;米杰;黄虎;邵明坤 | 申请(专利权)人: | 吉林大学 |
主分类号: | G01N3/40 | 分类号: | G01N3/40 |
代理公司: | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人: | 王怡敏 |
地址: | 130025 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种原位压/划痕测试装置,属于机电一体化精密科学仪器领域。包括X、Y方向精密定位平台、Z方向精密线性定位平台、精密压入驱动单元、载荷信号检测和位移信号检测单元,其中,所述X、Y方向精密定位平台通过连接板Ⅱ固定在底座上,载物台通过X、Y向压电叠堆与X、Y方向精密定位平台连接;Z方向精密线性定位平台装配在底座上;精密压入驱动单元的步进电机、导轨分别固定在底座上;载荷信号检测和位移信号检测单元固定在底座上。优点在于:体积小、结构紧凑、质量轻、刚性好、定位精度高。可以实现特征尺寸毫米级以上三维试件的力学性能测试,位移加载分辨率达到纳米级,加载力分辨率达到微牛级。 | ||
搜索关键词: | 原位 划痕 测试 装置 | ||
【主权项】:
一种原位压/划痕测试装置,其特征在于:包括X、Y方向精密定位平台、Z方向精密线性定位平台、精密压入驱动单元、载荷信号检测和位移信号检测单元,其中,所述X、Y方向精密定位平台通过连接板Ⅱ(3)固定在底座(13)上,载物台(5)通过X、Y向压电叠堆(17)、(14)与X、Y方向精密定位平台连接;Z方向精密线性定位平台由Z向压电叠堆(12)和Z向柔性铰链(9)构成并装配在底座(13)上;精密压入驱动单元由步进电机(1)、连接板Ⅰ(2)及导轨(16)组成,所述步进电机(1)、导轨(16)分别固定在底座(13)上;载荷信号检测和位移信号检测单元的八片电阻应变片分别固定在Z向柔性铰链(9)上,所述载荷信号检测和位移信号检测单元通过Z向柔性铰链(9)固定在底座(13)上。
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