[发明专利]一种薄膜热流传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201210415060.0 | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102928460A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 何峰;谢贵久;景涛;颜志红;张建国;董克冰 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01K7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜热流传感器及其制备方法。本发明采用微机械加工技术在基片表面制备耐高温的薄膜热电偶阵列（热电堆），并在薄膜热电偶阵列上设置厚热障层和薄热障层，通过感测厚、薄热障层下的温度差，结合厚、薄热障层的高度差，可以测量出热流。采用这种发明的有益效果是可对高速飞行器飞行过程中外层材料的热流进行测量，为热防护设计提供数据参考，并且采用这种发明的薄膜热流传感器制备工艺简单，结构可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 热流 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜热流传感器，其特征在于，它（1）包括基片（2），设于基片（2）上的过渡层（3），设于过渡层（3）上的薄膜热电偶阵列；所述薄膜热电偶阵列由两个以上包括A电极（4）和B电极（5）的薄膜热电偶（10）通过外接点（11）串联构成；所述A电极（4）和B电极（5）的接点上设有厚热障层（6）；所述外接点（11）上设有薄热障层（7）；所述串联的两个以上的薄膜热电偶（10）的两个外接端分别经一个焊盘（9）与各自对应的补偿导线（8）连接；所述基片（2）材料为Al2O3陶瓷；所述过渡层（3）材料为Ta2O5。
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