[发明专利]一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法无效
申请号: | 201210395922.8 | 申请日: | 2012-10-18 |
公开(公告)号: | CN102896008A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 刘晓为;韩小为;王蔚;田丽;张贺 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法,涉及一种微流控芯片的键合方法。本发明的键合方法包括如下步骤:把预制的两块吸波加热基板分别与芯片的上下两个表面贴合,然后放入密闭容器内,用高频电磁波在密闭容器内辐射加热,微波功率为400-1000W,键合界面最高瞬时温度范围控制在95-200℃,键合时间为30-200S。相比国内外其它聚合物微流控芯片的键合方法,这种新型的方法需要的设备简单,工艺成本低、步骤少,易于在聚合物材质微流控芯片的键合领域推广应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 pmma 其它 聚合物 材质 微流控 芯片 方法 | ||
【主权项】:
一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法,其特征在于所述键合方法包括如下步骤:把预制的两块吸波加热基板分别与芯片的上下两个表面贴合,然后放入密闭容器内,用微波在密闭容器内辐射加热,微波功率为400‑1000W,键合界面最高瞬时温度范围控制在95‑200℃,键合时间为30‑200S。
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