[发明专利]槽宽度和尺寸的测量方法有效
| 申请号： | 201210371245.6 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103712583A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;陈文庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;G01B21/10;G01B21/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种槽宽度和尺寸的测量方法，槽宽度的测量方法，包括：槽最小口径处的宽度为槽的宽度，槽包括相对的两侧壁，两相对侧壁在最小口径处均为最突出位置；提供三维坐标测量仪，包括球形测头、与球形测头连接的柱状杆；柱状杆的对称轴通过所述球心；用柱状杆接触并相切于所述第一侧壁的最突出位置，球形测头接触所述第一侧壁进行测量，记录第一测量值；用柱状杆接触并相切于第二侧壁的最突出位置，球形测头接触所述第二侧壁进行测量，记录第二测量值；槽宽度＝第二测量值-第一测量值-(球形测头直径-柱状杆宽度)。本发明还提供一种槽尺寸的方法。采用本发明的测量方法可以减小槽的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 宽度 尺寸 测量方法 | ||
【主权项】：
一种槽宽度的测量方法，其特征在于，所述槽最小口径处的宽度为槽的宽度，所述槽包括相对的两侧壁，两相对侧壁在所述最小口径处均为最突出位置；所述方法包括：提供三维坐标测量仪，包括球形测头、与所述球形测头连接的柱状杆；所述柱状杆的对称轴通过所述球心；用所述柱状杆接触并相切于所述第一侧壁的最突出位置，所述球形测头接触所述第一侧壁进行测量，记录第一测量值；用所述柱状杆接触并相切于所述第二侧壁的最突出位置，所述球形测头接触所述第二侧壁进行测量，记录第二测量值；所述槽宽度＝第二测量值‑第一测量值‑(球形测头直径‑柱状杆宽度)。
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