[发明专利]一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201210369332.8 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN103698358A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 杜克勤;郭兴华;郭泉忠;王勇;王福会 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;C04B38/00;C04B35/10 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器及其制备方法，属于指示环境湿度的元器件技术领域。利用暂态自反馈微弧氧化技术在高纯铝薄片上制备一层稳定的多孔α-Al2O3陶瓷膜为感湿介质层，从而使Al2O3湿度传感器改善或克服了长期漂移、结构不稳定的问题。本发明的湿度传感器测量范围宽，灵敏度高、重现性和稳定性好，可广泛应用于工业过程控制、环境湿度检测等环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 陶瓷 氧化铝 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多孔陶瓷氧化铝型湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括高纯铝片、多孔Al2O3陶瓷膜、导电极及铜导线；所述高纯铝片作为中间层，铝片的外表面覆有多孔Al2O3陶瓷膜，多孔Al2O3陶瓷膜的上下两个表面分别镀有导电薄膜作为导电极，铜导线通过银浆与导电极连接；所述多孔Al2O3陶瓷膜为感湿介质层。
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