[发明专利]立式大量程高精度光学平面测试装置有效
申请号: | 201210363897.5 | 申请日: | 2012-09-26 |
公开(公告)号: | CN102878949A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 马冬梅;宋立维;王涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 立式大量程高精度光学平面测试装置属于光学测试仪器领域,该装置包括:支撑底台、水平转台、精密转台、长导轨、第一反射镜、第二反射镜、第一测角装置、第二测角装置、滑板、数据采集分析系统和电控系统;支撑底台上依次放置水平转台和精密转台,精密转台的一侧与长导轨连接,长导轨上安装滑板、第一测角装置和第二测角装置;第一反射镜和第二反射镜固定在滑板上,滑板在长导轨上运动;数据采集分析系统控制第一测角装置和第二测角装置,电控系统控制精密转台和滑板运动。该装置其体积小、重量轻,可在不同姿态下使用,测试精度不受重力影响,结构简单,易于设计加工,可测试口径主要取决于长导轨的有效量程。 | ||
搜索关键词: | 立式 量程 高精度 光学 平面 测试 装置 | ||
【主权项】:
立式大量程高精度光学平面测试装置,其特征在于,该装置包括:支撑底台、水平转台、精密转台、长导轨、第一反射镜、第二反射镜、第一测角装置、第二测角装置、滑板、数据采集分析系统和电控系统;所述支撑底台上依次放置水平转台和精密转台,精密转台的一侧与长导轨连接,长导轨上安装滑板、第一测角装置和第二测角装置;所述第一反射镜和第二反射镜固定在滑板上,滑板在长导轨上运动;所述数据采集分析系统控制第一测角装置和第二测角装置,电控系统控制精密转台和滑板运动。
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