[发明专利]一种以二氧化钛纳米管阵列为基体的紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种以二氧化钛纳米管阵列为基体的紫外光探测器及其制备方法，所述紫外光探测器自下而上依次由钛片基底（1）、二氧化钛纳米管阵列（2）、绝缘层（3）和石墨烯薄膜（4）构成，在所述钛片基底（1）的下表面和所述石墨烯薄膜（4）的上表面分别设置有引出电极（5），所述引出电极（5）通过电流测量器（6）连接。本发明紫外光探测器由于通过阳极氧化的方法在钛片基底上制备二氧化钛纳米管阵列，这种方法制备的阵列氧空位较少，化学计量比没有失配。因此，在退火后二氧化钛结晶结构好，导致响应度高，暗电流小，紫外可见抑制比高。

主权项

一种以二氧化钛纳米管阵列为基体的紫外光探测器，其特征在于：所述紫外光探测器自下而上依次由钛片基底（1）、二氧化钛纳米管阵列（2）、绝缘层（3）和石墨烯薄膜（4）构成，在所述钛片基底（1）的下表面和所述石墨烯薄膜（4）的上表面分别设置有引出电极（5），所述引出电极（5）通过电流测量器（6）连接；所述绝缘层（3）为框形空心结构，所述石墨烯薄膜（4）与所述绝缘层（3）接触，所述石墨烯薄膜（4）与所述二氧化钛纳米管阵列（2）形成肖特基接触；所述引出电极（5）为银电极，所述引出电极（5）与所述石墨烯薄膜（4）形成欧姆接触，所述引出电极（5）与所述钛片基底（1）形成欧姆接触。