[发明专利]表面缺陷检测设备及其控制方法有效
| 申请号： | 201210322599.1 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN103364405A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李映勋;金周弘;李硕埈 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 陈潇潇;南毅宁 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面缺陷检测设备，该表面缺陷检测设备包括具有上表面的台架单元，在该上表面上布置有主体；至少一个光源单元，该至少一个光源单元根据检查条件移动并将检查光照射至所述主体的表面上；成像单元，该成像单元接收从所述主体的表面发射的光并捕捉所述主体的表面的图像；控制器，该控制器连接至所述至少一个光源单元和所述成像单元，该控制器设置所述检查条件、控制整个操作、并通过使用由所述成像单元捕捉的图像检测所述主体的表面缺陷；以及显示单元，该显示单元用于显示由所述控制器检测到的关于所述表面缺陷的图像信息。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种表面缺陷检测设备，该表面缺陷检测设备包括：具有上表面的台架单元，在该上表面上布置有主体；至少一个光源单元，该至少一个光源单元根据检查条件移动并将检查光照射至所述主体的表面上；成像单元，该成像单元接收从所述主体的表面发射的光并捕捉所述主体的表面的图像；控制器，该控制器连接至所述至少一个光源单元和所述成像单元，该控制器设置所述检查条件、控制整个操作、并通过使用由所述成像单元捕捉的图像检测所述主体的表面缺陷；以及显示单元，该显示单元用于显示由所述控制器检测到的关于所述表面缺陷的图像信息。
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