[发明专利]高纯安全特气柜系统

摘要

本发明公开了一种气柜系统，尤其是一种高纯安全特气柜系统。本发明提供了一种在更换钢瓶时保证钢瓶管接头的密封连接部清洁的高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶和管路系统，所述管路系统包括供气管路、稀释气体管路以及抽真空管路，所述供气管路上设置有钢瓶管接头，所述供气管路通过钢瓶管接头与所述钢瓶相连，所述稀释气体管路和抽真空管路均连在所述供气管路上，还包括吹扫管路，所述钢瓶管接头包括气体通道、依次设置的密封接口部、紧固部和进气部，还包括吹扫部，所述吹扫部上设置有一定数量的吹扫通孔，所述吹扫通孔的出口朝向所述密封接口部的外壁，所述吹扫管路与所述吹扫通孔相连通。

主权项

高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶（5）和管路系统，所述管路系统包括供气管路（61）、稀释气体管路（62）以及抽真空管路（63），所述供气管路（61）上设置有钢瓶管接头（2），所述供气管路（61）通过钢瓶管接头（2）与所述钢瓶（5）相连，所述稀释气体管路（62）和抽真空管路（63）均连在所述供气管路（61）上，其特征在于：还包括吹扫管路（64），所述钢瓶管接头（2）包括气体通道（21）、依次设置的密封接口部（22）、紧固部（23）和进气部（25），还包括吹扫部（24），所述吹扫部（24）上设置有吹扫通孔（26），所述吹扫通孔（26）的出口朝向所述密封接口部（22）的外壁，所述吹扫管路（64）与所述吹扫通孔（26）相连通。