[发明专利]具有丙酮选择特性的氧化锌厚膜气敏传感器制备方法

摘要

本发明公开了一种具有丙酮选择特性的氧化锌厚膜气敏传感器制备方法。本发明按照下述步骤进行：首先制备Zn(OH)2胶体：利用Zn（CH3COO）2·2H2O和的NaOH为原料制备；然后将得到的Zn(OH)2胶体进行陈化、凝缩、烘烤得到Zn(OH)2凝胶，将凝胶块充分细磨，并将氧化铈按照重量百分比7ωt%混合到凝胶粉末中，最后将混合粉末放入马弗炉中，退火温度700℃，恒温3h，将上述混合退火后的混合粉末与甲基纤维素混合，然后将涂在陶瓷管上进行退火烧结即成。制备方式简单，成本低。本发明采用溶胶凝胶法制备薄膜，室温即可满足制备条件。选择本发明的工艺参数，可使气敏元件对丙酮具有很高的选择性、灵敏度和稳定性。

主权项

一种具有丙酮选择特性的氧化锌厚膜气敏传感器制备方法，其特征是，按照下述步骤进行：a.制备Zn(OH)2胶体：分别称取无水乙醇与去离子水混合，无水乙醇与去离子水体积比为：1：0.5‑1:2搅拌至均匀；用托盘天平分别称取Zn（CH3COO）2·2H2O和NaOH,Zn（CH3COO）2·2H2O和NaOH的摩尔质量比为1：1‑1:3并分别用上述制备好的溶剂20ml分别溶解；用搅拌机搅拌Zn（CH3COO）2·2H2O溶液，转速约80r/min‑100r/min，将NaOH溶液以0.05ml/min‑0.12ml/min的滴速滴入Zn（CH3COO）2·2H2O溶液；PH=6.5‑7.4后继续搅拌1‑3h，关闭搅拌器，静置胶体24小时后烘干并研磨成Zn(OH)2胶体粉末；b.将得到的Zn(OH)2胶体进行陈化、凝缩、烘烤得到Zn(OH)2凝胶；c.将凝胶块充分细磨加热后用去离子水或乙醇对凝胶进行清洗、干燥再细磨为粉末，并将氧化铈按照重量百分比6ωt%‑8ωt%混合到凝胶粉末中，将混合粉末放入马弗炉中，退火温度500℃‑900℃，恒温2.5‑3h；d.将上述混合退火后的混合粉末与甲基纤维素按重量比1:3‑1:5的比例混合，然后涂在陶瓷管上进行退火烧结，即成具有丙酮选择特性的氧化锌厚膜气敏传感器。