[发明专利]基板用作业装置

摘要

本发明的基板用作业装置成本低廉且可实现装置的小型化及轻量化，并具备与以往相比可确保较高的供电效率具有稳定供电功能的非接触供电部。驱动作业头的头驱动机构包括：轨道限定机构(导轨3)；非接触供电用元件(61～63)，沿轨道限定机构排列设置；选择开关(81～83)，独立切换非接触供电用元件各自的通电及非通电；可动部(4)，保持作业头并架设于轨道限定机构；驱动装置，使可动部沿轨道限定机构移动；非接触受电用元件(7)，设于可动部，从非接触供电用元件的一部分接收电力并至少向作业头或驱动装置供电；供电控制部(9)，以仅对非接触受电用元件接近的一部分非接触供电用元件(62)通电的方式控制选择开关。

主权项

一种基板用作业装置，由头驱动机构驱动的作业头与定位后的基板相向地进行规定作业，所述基板用作业装置的特征在于，所述头驱动机构包括：轨道限定机构，沿移动方向延伸；多个非接触供电用元件，沿着所述轨道限定机构排列设置；多个选择开关，独立地对所述多个非接触供电用元件各自的通电及非通电进行切换；可动部，保持所述作业头并以能够移动的方式架设于所述轨道限定机构；驱动装置，使所述可动部沿着所述轨道限定机构移动；非接触受电用元件，设置于所述可动部，与所述多个非接触供电用元件中的一部分非接触供电用元件隔有距离地相向而接收电力，并至少向所述作业头或所述驱动装置供电；及供电控制部，基于所述可动部在所述轨道限定机构上的位置来控制所述多个选择开关，使得仅向所述非接触受电用元件接近的一部分非接触供电用元件通电。