[发明专利]N型晶硅太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种N型晶硅太阳能电池及其制备方法。该制备方法包括扩散制结、刻蚀、沉积减反射层、印刷及烧结步骤，在扩散制结步骤之前包括选择性背场的制备过程，选择性背场的制备过程包括：1)在硅片基体上扩散形成一层浅掺杂的磷背场；以及2)利用激光垂直照射磷背场上欲形成金属栅线区的区域使区域内所掺杂的磷元素富集，形成选择性背场。本发明在制备背场时只需要在硅片基体的背面制备浅掺杂的背场，节约了磷的使用量，缩短了扩散时间；采用激光照射使照射区域的磷向局部富集并向硅片基体内扩散，形成的选择性背场从活性区到金属栅线区薄层电阻逐渐降低，进而在制备金属电极时更容易形成良好的欧姆接触并获得更好的填充因子。

主权项

一种N型晶硅太阳能电池的制备方法，包括扩散制结、刻蚀、沉积减反射层、印刷及烧结步骤，其特征在于，在所述扩散制结步骤之前包括选择性背场的制备过程，所述选择性背场的制备过程包括：1)、在硅片基体上扩散形成一层浅掺杂的磷背场；以及2)、利用激光垂直照射所述磷背场上欲形成金属栅线区的区域使所述区域内所掺杂的磷元素富集，形成所述选择性背场。