[发明专利]自动光学检测装置无效
申请号: | 201210259431.0 | 申请日: | 2012-07-25 |
公开(公告)号: | CN102759531A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 林勇佑 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/956 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 欧阳启明 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种自动光学检测装置。该自动光学检测装置包括基板承载平台、传感器固定平台、图像传感器以及背光源。本发明的自动光学检测装置可检测到基板的内部缺陷,解决了现有的自动光学检测装置无法检测到基板内部缺陷的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 自动 光学 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种自动光学检测装置,其特征在于,包括:基板承载平台,用于承载被检测基板;传感器固定平台,设置在所述被检测基板的上方;图像传感器,设置在所述传感器固定平台上,用于对所述被检测基板进行拍照;以及背光源,设置在所述被检测基板的下方,与所述图像传感器的位置相对应,用于照射所述被检测基板的被检测部分。
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