[发明专利]荧光反射镜共轭双通照明共焦显微装置

摘要

荧光反射镜共轭双通照明共焦显微装置属于光学显微测量技术；在激光器直射光路上依次配置准直扩束器和分光镜，聚焦物镜和三维微位移载物台配置在分光镜反射光路上，窄带滤波片和收集物镜配置在分光镜透射光路上，传导光纤将收集物镜会聚光传导到光电探测器，在分光镜反射光路上还配置椭球反射镜，椭球反射镜的近焦点位于放置在三维微位移载物台上样品表面上，在椭球反射镜远焦点位置处配置荧光反射镜；本装置避免了双通照明中一次照明与二次照明光发生光波混叠而产生的干涉，信噪比和轴向分辨率高。

主权项

一种荧光反射镜共轭双通照明共焦显微装置，包括：激光器(1)、准直扩束器(2)、分光镜(3)、聚焦物镜(4)、三维微位移载物台(5)、窄带滤波片(8)、收集物镜(9)、传导光纤(10)、光电探测器(11)；其中，在激光器(1)直射光路上依次配置准直扩束器(2)和分光镜(3)，聚焦物镜(4)和三维微位移载物台(5)配置在分光镜(3)反射光路上，窄带滤波片(8)和收集物镜(9)配置在分光镜(3)透射光路上，传导光纤(10)将收集物镜(9)会聚光传导到光电探测器(11)，其特征在于在分光镜(3)反射光路上还配置椭球反射镜(6)，所述的椭球反射镜(6)的近焦点位于放置在三维微位移载物台(5)上的样品表面上，在椭球反射镜(6)远焦点位置处配置荧光反射镜(7)。