[发明专利]一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法

摘要

本发明提供一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法，该方法的步骤为：（1）记录曲率波前传感器在焦平面两侧对称位置的离焦光斑I₁₍r)（焦点内侧）与I₂(r)（焦点外侧），并生成曲率波前传感器信号S₀(r)作为初始输入；（2）根据曲率波前传感器信号估计波前像差（3）加入边界条件限制得到像差（4）由估计曲率波前传感器信号S(r)；（5）结合光瞳限制得到修正后的曲率波前传感器信号S_est(r)；（6）根据结合离焦量l计算离焦光斑I_est,1(r)；（7）比较I₁(r)与I_est,1(r)的相似性，得到迭代停止判据，若条件满足则输出否则转向步骤（2）继续迭代。本发明利用在波像差与曲率波前传感器信号间的反复迭代，可以减少曲率波前传感器原理性的误差，得到高精度的波前测量结果。

主权项

1.一种应用于曲率波前传感器的波前复原方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：步骤（1）、记录曲率波前传感器在焦平面两侧对称位置的焦点内侧的离焦光斑I₁(r)与焦点外侧的离焦光斑I₂(r)，并生成曲率波前传感器信号S₀(r)作为初始输入；步骤（2）、根据曲率波前传感器信号S₀(r)估计波前像差步骤（3）、加入边界条件限制得到估计的波前像差步骤（4）、由估计的波前像差估计曲率波前传感器信号S(r)；步骤（5）、结合光瞳限制得到修正后的曲率波前传感器信号S_est(r);步骤（6）、根据估计的波前像差结合离焦量l计算估计的焦点内侧的离焦光斑I_1,est(r)；步骤（7）、比较焦点内侧的离焦光斑I₁(r)与估计的焦点内侧的离焦光斑I_1,est(r)的相似性，得到迭代停止判据，若满足迭代停止判据则输出估计的波前像差否则转向步骤（2）继续迭代。