[发明专利]一种二维热膜风速风向传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种二维热膜风速风向传感器，包括衬底，绝缘层，测温元件和加热元件；衬底中设有空腔，测温元件和加热元件固定在绝缘层的上表面；测温元件到加热元件的距离相等，相对的测温元件以加热元件为中心，相互对称，相邻的测温元件相对的端部距离均相等。该传感器测量风速风向的功耗小，灵敏度高。本发明还公开了一种二维热膜风速风向传感器的制备方法：取（100）晶向单晶硅片，作为衬底；在硅片内部制备一空腔；氧化硅片上表面，形成绝缘层；在绝缘层上表面，采用磁控溅射方法溅射金属，并光刻形成测温元件和加热元件。该制备方法制备的传感器，在衬底中设有空腔，降低传感器进行风速风向测量时的功耗，确保测量的准确性。

主权项

一种二维热膜风速风向传感器，其特征在于，该传感器包括衬底（1），绝缘层（2），测温元件（3）和加热元件（4）；衬底（1）中设有空腔（5），且空腔（5）顶面到衬底（1）顶面的距离小于10微米；绝缘层（2）贴覆在衬底（1）的上表面，测温元件（3）和加热元件（4）分别固定在绝缘层（2）的上表面；测温元件（3）为四个，测温元件（3）位于加热元件（4）的周边，每个测温元件（3）到加热元件（4）的距离相等，且相对的测温元件（3）以加热元件（4）为中心，相互对称，相邻的测温元件（3）相对的端部距离均相等；测温元件（3）和加热元件（4）位于空腔（5）的正上方。