[发明专利]一种三氯化铁系ITO蚀刻液及其制备方法无效
| 申请号： | 201210221403.X | 申请日： | 2012-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN102732253A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C09K13/12 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述该蚀刻液组合物盐酸或硝酸、FeCl3、硝酸盐化合物或氯基化合物、表面活性剂和纯水，所述表面活性剂为阴离子表面活性剂和聚氧乙烯型非离子表面活性剂的混合物。其方法包括如下加工步骤：第一步：将强酸性离子交换树脂分别加入到盐酸和硝酸中，搅拌混合，然后滤出强酸性离子交换树脂，控制或去除盐酸和硝酸中的杂质离子；第二步：将组合物中各原料按配比称重配置；第三步：将氯基化合物或硝基化合物、表面活性剂溶解在水中，再与硝酸或盐酸混合均匀即可；第四步：将混合物通入过滤器中过滤，得到所述ITO蚀刻液。该蚀刻液稳定，蚀刻效率适中，蚀刻效率良好，无杂质、无泡沫。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化铁 ito 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种三氯化铁系ITO蚀刻液，其特征在于：所述该蚀刻液包括盐酸或硝酸、FeCl3、硝酸盐化合物或氯基化合物、表面活性剂和纯水，所述表面活性剂为阴离子表面活性剂和聚氧乙烯型非离子表面活性剂的混合物。
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