[发明专利]一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法有效
申请号: | 201210207758.3 | 申请日: | 2012-06-21 |
公开(公告)号: | CN102757014A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 陈烽;杨青;邓泽方;刘贺炜;边浩;杜广庆;司金海;侯洵 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;G02B3/00;G03F7/00 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 弋才富 |
地址: | 710048*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法,将用于制备微透镜阵列的玻璃棒置于飞秒加工平台上;根据加工所需,控制飞秒加工平台的移动,同时控制单点的辐照,在玻璃棒表面烧蚀出所需的弹坑阵列;将带有烧蚀弹坑的玻璃棒置于氢氟酸稀释溶液中,并且用超声波水浴加热辅助,将玻璃棒从氢氟酸的稀释溶液中取出,在超声波水浴条件下,依次在丙酮、无水乙醇、去离子水中清洗;即可得到表面具有微透镜阵列的玻璃棒;本发明利用飞秒激光逐点辐照辅助化学湿法刻蚀工艺,在玻璃棒表面实现了高质量的微透镜阵列的制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃棒 表面 透镜 阵列 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃棒表面微透镜阵列的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一、选取直径为1~50mm的玻璃棒用于制备微透镜阵列;步骤二、将玻璃棒(6)固定在夹具(7)上,将夹具(7)的另一端固定在旋转轴(10)上,旋转轴(10)的另一端固定在三维精密位移平台(8)上,计算机(9)与三维精密位移平台(8)和旋转轴(10)相连,控制两者的运动,激光器(1)发射出脉冲宽度为30~150fs、波长为325~1200nm,单脉冲能量为1~100μJ,重复频率为10Hz~100KHz的激光,经可控开关(2)、反射镜(4)后,通过数值孔径值为0.3~0.9的物镜(5)聚焦到玻璃棒(6)表面,CCD摄像机(3)监视整个加工过程;步骤三、根据加工所需,控制旋转轴(10)的旋转与三维精密位移平台(8)的移动,同时通过可控开关(2)控制单点的辐照时间在10~1000ms,在玻璃棒(6)表面烧蚀出所需的弹坑阵列;步骤四:将带有烧蚀弹坑的玻璃棒(6)置于质量浓度为2.5%~10%的氢氟酸稀释溶液中,并且用超声波水浴加热辅助,加热温度为30~80摄氏度,时间为40~80分钟;步骤五、将玻璃棒(6)从氢氟酸的稀释溶液中取出,在超声波水浴条件下,依次在丙酮、无水乙醇、去离子水中清洗,清洗时间均为5~10分钟;即可得到表面具有微透镜阵列的玻璃棒。
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