[发明专利]基于光干涉的气压分布测量装置

摘要

本发明提出一种基于光干涉的气压分布测量装置，包括光源、干涉显微镜、第一光电传感器、分光转换器、数据采集器、计算机、透明玻璃板、反射平台、系统支架；其中，透明玻璃板与反射平台组成间距可调的填装被测气体的气腔；系统支架包括高度可调的第一支架与第二支架，第一支架与第二支架装设在透明玻璃板上方；光源、干涉显微镜、第一光电传感器、分光转换器均装设于第一支架与第二支架之间。本发明可测量厚度为微米量级的气膜和气膜内部气压动态变化，测量精度高，可广泛应用于气压检测领域。

主权项

一种基于光干涉的气压分布测量装置，其特征在于：包括支架以及安装在支架内的光源（1）、干涉显微镜（2）、第一光电传感器（3）和分光转换器（4），在干涉显微镜（2）的下端设置有由透明玻璃板（7）与反射平台（8）组成的填装被测气膜的气腔；光源（1）用于将生成的包含两种或两种以上单色光的原复合光发送至干涉显微镜（2）；干涉显微镜（2）用于对光源（1）发送的原复合光预处理，并将得到的预处理复合光按比例分为两束，一束预处理复合光被发送至第一光电传感器（3），另一束预处理复合光被发送至透明玻璃板（7）；对透明玻璃板（7）返回的反射光进行放大处理，并将得到的放大反射光发送至分光转换器（4）；第一光电传感器（3）用于将干涉显微镜（2）发送的一束预处理复合光由光信号转换为电信号后发送至数据采集器（5）；分光转换器（4）用于从干涉显微镜（2）发送的放大反射光中提取两种或三种单色光，并将提取到的各单色光由光信号转换为电信号后发送至数据采集器（5）；数据采集器（5）用于将采集的第一光电传感器（3）发送的预处理复合光电信号与分光转换器（4）发送的各单色光电信号转发至计算机（6）；计算机（6），用于预先存储气体折射率与气体压强之间的对应关系；对来自数据采集器的预处理复合光电信号与各单色光电信号进行处理，根据得到各单色光电信号产生的干涉信号强度与预处理复合光电信号的信号强度确定被测区域内的气体折射率，再根据气体折射率与气体压强之间的对应关系，确定被测区域内气膜的内部气压分布。