[发明专利]一种采用接近开关的平台调节器在审
| 申请号： | 201210162949.2 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN103419134A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张志慧;龚大伟 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用接近开关的平台调节器，包含：研磨头，带动研磨头上下动作的调节手臂，以及控制调节手臂开关的电磁阀，还包含：传感装置，所述的传感装置设置在研磨头与调节手臂之间，所述的传感装置的一端通过电缆与外部的主控制器相连，另一端接地；当外部的主控制装置通过电磁阀控制研磨头向上运动时，传感装置检测研磨头是否与调节手臂相对靠近，若研磨头与调节手臂并未相对靠近，则传感装置断开；继电保护装置，所述的继电保护装置的输入端与外部的主控制器相连，其输出端与电磁阀的输入端相连。本发明能够有效保护研磨头，增加了研磨头的寿命，并有效保护了研磨头所研磨的晶片以及其他部件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 接近 开关 平台 调节器 | ||
【主权项】：
一种采用接近开关的平台调节器，包含：研磨头（1），带动研磨头（1）上下动作的调节手臂（2），以及控制调节手臂（2）开关的电磁阀（4），其特征在于，还包含：传感装置（3），所述的传感装置（3）设置在研磨头（1）与调节手臂（2）之间，所述的传感装置（3）的一端通过电缆与外部的主控制器相连，另一端接地；当外部的主控制装置通过电磁阀（4）控制研磨头（1）向上运动时，传感装置（3）检测研磨头（1）是否与调节手臂（2）相对靠近，若研磨头（1）与调节手臂（2）并未相对靠近，则传感装置（3）断开；继电保护装置（5），所述的继电保护装置（5）的输入端与外部的主控制器相连，其输出端与电磁阀（4）的输入端相连。
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