[发明专利]一种测试高纯管道吹扫效果的方法有效
| 申请号： | 201210135996.8 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102680649A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 孔雄;张悦;邹秀平;蔡虎军 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种测试高纯管道吹扫效果的方法。本发明提出一种测试高纯管道吹扫效果的方法，通过根据特气管路中阀门分歧箱布局的不同进行分类，并选择最末端的阀门分歧箱作为测试对象，测试管路内的水份、氧份和颗粒来判断吹扫后管路的洁净度，并抽查除已检测过的阀门分歧箱之外进行抽查；这样，不仅明确了测试管道的内容和指标，还可避免时间、人力和财力的浪费，使得测试数量最小化，同时还能有效控制测试风险，增大产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 高纯 管道 效果 方法 | ||
【主权项】：
一种测试高纯管道吹扫效果的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：根据特气管路中阀门分歧箱的布局，选择最末端的阀门分歧箱作为第一检测的测试点；步骤S2：对特气管路吹扫后，进行各个测试点的第一检测；步骤S3：若第一检测结果不合格，则依次循环重复步骤S1和步骤S2，直至第一检测结果合格；若第一检测结果合格，则抽检除已进行第一检测过的阀门分歧箱进行第二检测；步骤S4：若第二检测结果不合格，则对该不合格管路进行吹扫，并在吹扫后对该不合格管路中所有阀门分歧箱进行第三检测，若第三检测结果不合格则再次对该不合格管路进行吹扫和第三检测，直至对该不合格管路中所有阀门分歧箱进行的第三检测结果合格；若第三检测的检测结果合格，则说明特气管路洁净度合格，吹扫工艺完成；若第二检测结果合格，则说明特气管路洁净度合格，吹扫工艺完成。
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