[发明专利]一种投影光学系统的倍率调节方法有效
| 申请号： | 201210118406.0 | 申请日： | 2012-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN102645749A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘鹏 | 申请（专利权）人： | 张家港鹏博光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/18 | 分类号： | G02B27/18;G02B13/22;G02B13/00 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人： | 祁凯娟 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种投影光学系统的倍率调节方法，首先提供一投影光学系统，该投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组。所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度；所述后组包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和第六镜组具有正光焦度，所述第五镜组具有负光焦度；所述前组和后组关于所述孔径光阑对称，同时移动所述第三镜组和第四镜组中对称的一组透镜，调节光学系统的投影倍率。采用本发明的投影光学系统的倍率调节方法，在保持良好的双远心投影光学特性和良好的光学成像质量的条件下，能方便有效地修正或调节投影倍率的光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 光学系统 倍率 调节 方法 | ||
【主权项】：
一种投影光学系统的倍率调节方法，其特征在于：提供一投影光学系统，该投影光学系统用于将物平面内的图形成像到像平面内，所述投影光学系统沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，所述前组包括第一镜组、第二镜组和第三镜组，所述第一镜组和第三镜组具有正光焦度，所述第二镜组具有负光焦度，所述第二镜组位于所述第一镜组和第三镜组之间，所述第一镜组位于所述物平面和第二镜组之间；所述后组包括第四镜组、第五镜组和第六镜组，所述第四镜组和第六镜组具有正光焦度，所述第五镜组具有负光焦度，所述第五镜组位于所述第四镜组和第六镜组之间，所述第六镜组位于所述像平面和第五镜组之间，所述前组和后组关于所述孔径光阑对称，同时移动所述第三镜组和第四镜组中对称的一组透镜，调节光学系统的投影倍率。
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