[发明专利]针尖保护装置及其具有针尖保护装置的探针卡有效
| 申请号： | 201210109965.5 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102621355A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 王炯;周柯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种针尖保护装置，包括：成像放大装置；锁固装置，用以锁固所述成像放大装置；导向轴，所述导向轴上活动设置所述锁固装置；以及，弹性元件，套设在所述导向轴上，并用以承载所述锁固装置。所述成像放大装置为放大镜。所述弹性元件为弹簧。所述导向轴数量为4个。本发明探针卡针尖保护装置设置在所述探针上方，并具有成像放大装置，不仅可以避免所述探针受到外界硬物掉落碰擦和颗粒粉尘的污染，而且便于清楚的观测所述探针卡的探针的各个部位，然后及时发现处理探针的异常问题，保证测试的正确性和精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 针尖 保护装置 及其 具有 探针 | ||
【主权项】：
一种针尖保护装置，其特征在于，所述针尖保护装置包括：成像放大装置；锁固装置，用以锁固所述成像放大装置；导向轴，所述导向轴上活动设置所述锁固装置；以及，弹性元件，套设在所述导向轴上，并用以承载所述锁固装置。
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