[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备

摘要

本发明提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，所述第二反射膜隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；以及第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上，其中，所述第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有所述第一反射膜；以及第一电极面，设置有所述第一电极，所述第一电极面与所述第二基板的距离不同于所述第一反射膜固定面与所述第二基板的距离，在所述第一反射膜固定面和所述第一电极面的与所述第二基板的距离大的面上，设置层叠有所述第一反射膜和所述第一电极的层叠部。