[发明专利]一种多探针平面度检测仪及其检测方法有效
| 申请号： | 201210094438.1 | 申请日： | 2012-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102620690A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 王生怀;卢文龙;谢铁邦;陈育荣;常素萍 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多探针平面度检测仪及其相应的检测方法，该检测仪包括测量探针阵列、测量物镜、干涉显微镜、CCD成像装置、垂直扫描工作台和水平工作台，其中干涉显微镜和CCD成像装置设置在垂直扫描工作台上，分别用于形成光的干涉条纹和干涉条纹的成像；测量探针阵列包括多个探针，这些探针各自的前端具有探针针尖，后端具有平面反射镜；测量物镜固定安装在干涉显微镜下部并处于探针平面反射镜上方，用于对光线进行汇聚；水平工作台设置在测量探针阵列下方用于放置被测样品。按照本发明，能够实现多探针同时测量，充分利用光干涉的高精度特性并有效避免测量时被测表面材料光学性能的影响，相应能够实现结构简单、测量精度高和成本低的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 平面 检测 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种多探针平面度检测仪，该检测仪包括测量探针阵列(1)、测量物镜(2)、干涉显微镜(3)、CCD成像装置(5)、垂直扫描工作台(6)和水平工作台(10)，其中：所述干涉显微镜(3)和CCD成像装置(5)通过连接套筒(4)固定在所述垂直扫描工作台(6)上并随着垂直扫描工作台(6)的上下移动而移动，其中干涉显微镜(3)处于连接套筒(4)的下部用于形成光的干涉条纹以便对被测样品的平面度执行检测，CCD成像装置(5)处于连接套筒(4)的上部用于对所产生的干涉条纹进行成像显示；所述测量探针阵列(1)包括多个探针，这些探针安装在同一支撑轴上并可绕着支撑轴转动，各个探针的前端具有用于与被测样品表面相接触的探针针尖，后端具有平面反射镜；所述测量物镜(2)固定安装在所述干涉显微镜(3)的下部并处于所述测量探针后端的平面反射镜上方，用于对来自干涉显微镜(3)的光或由所述平面反射镜反射的光进行汇聚；所述水平工作台(10)设置在所述测量探针阵列(1)下方，用于放置被测样品。
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