[发明专利]清洗蚀刻机台移动式泄液槽的排气装置

摘要

本发明提供一种清洗蚀刻机台移动式泄液槽的排气装置，供清洗蚀刻机台的排气。排气装置与清洗蚀刻机台的转盘皆保持在固定水平上，而泄液槽(drain tank)则可以上下移动，以分别将自旋转转盘上晶圆表面因离心力飞散的液体收集排出。由固定风箱、主抽风口、次抽风口、主抽风排气管、次抽风排气管、隔离毛刷及传动装置组成。主抽风口是在各抽风口的中央位置，其余对准泄液槽的抽风口为次抽风口，无泄液槽对准的抽风口为可选择封闭或开启。来自转盘的酸性气体沿主排气流道自主抽风排气管排出，其它泄液槽的气体沿次排气流道自次抽风排气管排出。

主权项

一种清洗蚀刻机台移动式泄液槽的排气装置，是配合移动式泄液槽而设计，使抽气时机得与移动泄液槽互相配合，达完整适时抽取腐蚀性气体的目的，其特征在于，至少包含：一组固定风箱，具有主抽风口及次抽风口，该主抽风口连接至主抽风排气管，以排出来自转盘酸液的腐蚀性气体，该次抽风口连接至次抽风排气管，以排出其它泄液槽较淡的腐蚀性气体；一个主抽风排气管，经主抽风排气导管将该主抽风口的气体排出；一个次抽风排气管，将该次抽风口的气体排出；一组隔离毛刷，使泄液槽的连接口与该固定风箱的主抽风口及次抽风口连接形成软性接触而间隔主、次排气流道，各连接口之间透过该隔离毛刷隔离以保持静压；一组密封隔板，使该连接口与外界隔离，再次隔离酸性气体；一组传动装置与风箱开关门，于泄液槽沿该固定风箱上下移动时使连接口配合于预定位置，适时隔离该次抽风排气管，并关闭无泄液槽的抽风口。