[发明专利]微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具无效
| 申请号： | 201210089039.6 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102645560A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 彭越;刘中生;刘雯蕊 | 申请（专利权）人： | 北京大华无线电仪器厂 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，包括一段90°的弯波导，弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，开口端设有被测材料的测试参考面，测试参考面设有抗流槽；弯波导拐弯处的壁上设有小孔，小孔装有激光发射器，激光发射器的发射方向指向弯波导的开口端。可以通过测量半导体材料表面电导率激光照射前后微波阻抗的变化，测得材料的少数载流子寿命，结构简单、使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 少数 载流子 寿命 测试仪 专用 测量 夹具 | ||
【主权项】：
一种微波少数载流子寿命测试仪专用测量夹具，其特征在于，包括一段90°的弯波导，所述弯波导的一端为微波反射计连接端，另一端为开口端，所述开口端设有被测材料的测试参考面，所述测试参考面设有抗流槽；所述弯波导拐弯处的壁上设有小孔，所述小孔装有激光发射器，所述激光发射器的发射方向指向所述弯波导的开口端。
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