[发明专利]集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器无效
| 申请号： | 201210070984.1 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102621026A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 陈达;王璟璟;孙学军;金荧荧;干耀国 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器。包括微流道、压电堆栈和信号处理集成电路，薄膜体声波谐振结构与信号处理集成电路分别制作在两个硅片上，然后将两个硅片进行结合形成一个整体。微流道和压电堆栈设置在上层硅片上，所述的信号处理集成电路设置在下层硅片上，所述的压电堆栈与信号处理集成电路之间具有空隙。该器件体积小，集成度高，成本较低，适合大批量制造，适合面向多分析物的高密度传感器阵列芯片，机械牢度强，适合比较复杂的生化分析环境。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 微流道 薄膜 声波 谐振 生化 传感器 | ||
【主权项】：
一种集成微流道的薄膜体声波谐振生化传感器，包括微流道(1)、压电堆栈(2)和信号处理芯片(3)，其特征在于，所述的微流道(1)和压电堆栈(2)设置在上层硅片(4)上，所述的信号处理集成电路(3)设置在下层硅片(5)上，所述的压电堆栈(2)与信号处理集成电路(3)之间具有空隙(6)。
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