[发明专利]一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法

摘要

本发明提供了一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法，其特征在于：步骤为：准备测量系统；布置若干测点及若干系统测点；将容器放置在测量平台上，利用激光回馈干涉仪测量所有系统测点的系统偏差值；移走容器，将被测物放置在测量平台上，利用位移传感器对被测物的待测面上所有测点进行测量，得到每个测点的偏差值；将测点的偏差值减去对应点的系统偏差值，得到测点的平面度偏差值，按照一定的评定方法计算后，即可得到被测物的待测面的平面度误差值。本发明提供的方法不但实现了大平面的高精度测量，而且同时可以扫描整个平面的三维形貌。

主权项

一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法，其特征在于：步骤为：步骤1、准备测量平台，在测量平台上放置测量框架，测量框架在测量平台上可移动，在测量框架上安装激光回馈干涉仪(4)及位移传感器(5)；步骤2、准备一盛有高粘度液体的容器，液体的液面面积不小于被测物(6)的待测面的面积，在被测物(6)的待测面上布置若干测点，同时，在液体液面与该测点相应位置处设定若干系统测点；步骤3、将容器放置在测量平台上，从第一个系统测点开始利用激光回馈干涉仪(4)测量所有系统测点的系统偏差值，对于第i个系统测点而言，其具体步骤为：将测量框架移动至第i个系统测点的上方，待激光回馈干涉仪(4)热稳定且液面稳定后，使用激光回馈干涉仪(4)对液面进行测量，读取激光回馈干涉仪(4)的输出信号V1i，该输出信号V1i即为第i个系统测点的系统偏差值δi；步骤4、移走容器，将被测物(6)放置在测量平台上，从第一个测点开始利用位移传感器(5)对被测物(6)的待测面上所有测点进行测量，得到每个测点的平面度偏差值，对于第i个测点而言，其具体步骤为：将测量框架移动至第i个测点的上方，使用位移传感器(5)对该测点进行测量，读取位移传感器(5)的输出信号V2i，则第i个测点的平面度偏差值hi＝V2i‑V1i，其中，V1i为通过激光回馈干涉仪(4)读取的与第i个测点相对应的第i个系统测点的输出信号；步骤5、将所有测点的平面度偏差值按照一定的评定方法计算后，即可得到被测物(6)的待测面的平面度误差值。