[发明专利]一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置无效
申请号: | 201210061598.6 | 申请日: | 2012-03-09 |
公开(公告)号: | CN102636132A | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 王君林;王绍治;刘建;马占龙;张玲花 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置,属于光学检测技术领域,本发明为提供一种表面粗糙度极低,表面均匀性极好的用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置,该装置包括液态水银、容器外壁、容器口、阻尼结构和密封盖;所述阻尼结构位于容器外壁内部下方;所述阻尼元件是排列的立柱或栅格板;所述容器口大小与光学粗糙度检测镜头的口径相同;所述密封盖与容器口是螺纹连接且密闭,该装置实现了参考平面表面粗糙度极低,表面均匀性极好,无瑕疵和缺陷,可以很好的应用于光学表面粗糙度标定。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光学 表面 粗糙 标定 参考 平面 生成 装置 | ||
【主权项】:
一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置,其特征在于该装置包括液态水银(2)、容器外壁(3)、容器口(4)、阻尼结构(5)和密封盖(6);所述阻尼结构(5)位于容器外壁(3)内部下方。
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