[发明专利]一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置无效

专利信息
申请号: 201210061598.6 申请日: 2012-03-09
公开(公告)号: CN102636132A 公开(公告)日: 2012-08-15
发明(设计)人: 王君林;王绍治;刘建;马占龙;张玲花 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 南小平
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置,属于光学检测技术领域,本发明为提供一种表面粗糙度极低,表面均匀性极好的用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置,该装置包括液态水银、容器外壁、容器口、阻尼结构和密封盖;所述阻尼结构位于容器外壁内部下方;所述阻尼元件是排列的立柱或栅格板;所述容器口大小与光学粗糙度检测镜头的口径相同;所述密封盖与容器口是螺纹连接且密闭,该装置实现了参考平面表面粗糙度极低,表面均匀性极好,无瑕疵和缺陷,可以很好的应用于光学表面粗糙度标定。
搜索关键词: 一种 用于 光学 表面 粗糙 标定 参考 平面 生成 装置
【主权项】:
一种用于光学表面粗糙度标定的参考平面生成装置,其特征在于该装置包括液态水银(2)、容器外壁(3)、容器口(4)、阻尼结构(5)和密封盖(6);所述阻尼结构(5)位于容器外壁(3)内部下方。
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