[发明专利]一种磁控管阴极及其制备方法和应用无效
| 申请号： | 201210052753.8 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN103290294A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 朱惠冲 | 申请（专利权）人： | 朱惠冲 |
| 主分类号： | C22C27/04 | 分类号： | C22C27/04;H01J23/05 |
| 代理公司： | 北京瑞恒信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11382 | 代理人： | 李渤 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市禅城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁控管阴极及其制备方法和应用，按重量比计，该磁控管阴极由以下成分组成：铼0.01％～3％；钍0.5％～2％；余量为钨。本发明不含钾的磁控管阴极产品的脆性得到了有效地的改善，有效克服了“阴极断裂”缺陷，进一步提高了产品的使用寿命。此外，与现有技术相比，本发明的磁控管阴极产品中的“铼”含量进一步降低，但产品性能并未因此受到影响，在保障产品质量的同时，降低了生产成本，减少了对环境的危害。此外，与现有技术的磁控管阴极制备工艺相比，本发明的制备方法采用去离子水作为低含量成分铼和钍的载体，使之与钨的混合更加均匀，避免了之前的制备方法因铼、钍用量太少与钨混合不均，进而导致产品性能下降，使用寿命缩短的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控管 阴极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种磁控管阴极，按重量比计，其由以下成分组成：铼0.01％～3％；钍0.5％～2％；余量为钨。
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