[发明专利]抗气泡液体控制装置

摘要

本发明公开了一种抗气泡液体控制装置，其特征在于，抗气泡液体控制装置是在透镜组和基底之间设置的装置，通过在注液腔和回收腔外围设置阻隔结构、液体密封带和辅助密封带，在维持液体更新带走气泡的同时抑制边界气泡的生成。阻隔结构可促使注液腔输入的液体更多的流向回收腔；液体密封带根据流场压力分布的特点，在注液腔和回收腔外围施加促使液体向内聚拢的非均匀液流，具备抑制泄漏和流动牵引双重作用；辅助密封带则用于基底快速运动工况下可能泄漏液体的吸收，并能对边界流场施加一定的液体补偿。此外，本装置采用与观测区域介质相同的液体，可避免不同流体介质之间的相互渗透与扩散，具备了良好可靠性和适应性。

主权项

一种抗气泡液体控制装置，在透镜组（2）和基底（4）之间设置的抗气泡液体控制装置（3）；其特征在于，所述的抗气泡液体控制装置（3）包括中心开有柱状观测腔（6）的主体结构（3A）；所述主体结构（3A）的一侧依次开有垂直于基底的注液腔（7A），其为弧度取30～150°的环形圆柱腔体；和阻隔带（8），为弧度取30～150°的环形凸台；所述主体结构（3A）的另一侧依次开有垂直于基底的回收腔（7B），为弧度取30～150°的环形圆柱腔体；和隔离凸台（10），为弧度取30～150°的环形凸台。