[发明专利]一种多晶硅还原炉电源控制装置

摘要

本发明公开了一种多晶硅还原炉电源控制装置，它包括电压电流模件、温度传感模件、数字滤波模件、相位跟踪模件、开入开出模件、控制模件、光触发模件、现场总线模件、晶闸管驱动模件、HMI模件；电压电流模件将硅棒上的高电压、大电流变成小于5V的模拟信号，温度传感模件将还原炉硅棒的温度变成小于5V的模拟信号，模拟信号通过数字滤波模件将高频干扰信号滤除并采样生成计算机能识别的数字信号，控制模件根据数字信号实现控制策略，再通过光触发模件或开入开出模件实现对硅棒电流的控制及连接方法的转换，晶闸管驱动模件可以直接驱动高压一次部分，通过光纤和低压部分隔离。本发明解决了还原炉电源控制系统并联回路的不平衡问题。

主权项

一种多晶硅还原炉电源控制装置，其特征在于：它包括：电压电流模件、温度传感模件、数字滤波模件、相位跟踪模件、开入开出模件、控制模件、光触发模件、现场总线模件、晶闸管驱动模件、HMI模件；所述光触发模件中可扩展光触发在硅棒运行初期对并联回路单独触发，当硅棒的电压降下来后通过所述开入开出模件的继电器控制开关切换使两组硅棒串联；通过所述温度传感模件直接采集硅棒的温度信号，在一个装置中完成了温度的闭环调节过程；所述电压电流模件将硅棒上的高电压、大电流变成小于5V的模拟信号，所述温度传感模件将还原炉硅棒的温度变成小于5V的模拟信号，模拟信号通过所述数字滤波模件将高频干扰信号滤除并采样生成计算机能识别的数字信号，所述控制模件根据数字信号实现控制策略，再通过光触发模件或开入开出模件实现对硅棒电流的控制及连接方法的转换，所述晶闸管驱动模件可以直接驱动高压一次部分，通过光纤和低压部分隔离。